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实验室气路安装要求

1、所有气体管路都由高质量的、完全退火型、无缝连接的不锈钢管组成。铜管只使用在气体管路的末端，对气体纯度要求不是太严格的地方。

2、气路安装管道不得和电缆、导电线路同架铺设。

3、易1燃气体，如乙1炔需要和其他气体分开单独引入。氢气管道若与其他可燃气体管道平行敷设时，其间距不应小于0.5M；交叉敷设时间距不应小于0.25M。分层敷设时氢气管道应位于上方。

4、压缩空气在管路上有过滤杂质和水分的净化装置，此净化装置需要并联一路，用单独的阀门隔离，以方便对过滤装置进行维修。

5、高纯气体管路的连接为无缝焊接。连接到阀门或调节装置时才可以使用接头配件。

6、每个实验室都要有单独的控制阀、减压阀和压力表。

7、引到工作台的气体管路要安装单独的控制阀。工作台上要均匀排放各种气体的控制阀门。在氦气管路前面建议安装气体净化装置。

8、每隔1.5米左右，气体管路就需要有支架。另外根据气体管路弯曲的半径，设置合适的支架位置。所有弯曲处都要有支撑。气路安装管路所有的支架都要进行镀锌防腐处理。

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实验供气系统使用安全注意事项

1.易1燃易1爆气体：此类气体只要形成了可燃气体爆1炸混合气和达到着火温度。便会发生燃烧爆1炸事故因此在可燃气体入口处、气体钢瓶存放间、洁净室

内使用可燃气体处、敷设可燃气体的管廊或技术夹层以及可能聚集可燃气体的场所均应设置可燃气体报警装置。具体要求如下：

①可燃气体比空气轻者，报警装置设置在所处场所的顶部。

②可燃气体比空气重者，报警装置设置在所处场所的1低处。

③可燃气体的报警装置应与相应的事故排风装置设电气连锁，当空气中的可燃气体浓度达到规定值时，事故排风装置自动开启，同时向洁净厂房的消防安全值班室发出报警信号。

④为防止倒流回火应在用气设备的支管上设置阻火器，在排入大气的排气管道上，为防止排气时突遇雷电袭1击阻止火焰蔓延至可燃气体管道引发燃烧爆1炸事故，必须在排气管道上设置阻火器。

⑤可燃气体在适当的管道处应做接地，但接地电阻应符合相关规定。

⑥各种可燃气体管道系统均应设置能引入氮气等惰性气体的接口及相应的检测口，以便在可燃气体供应系统使用前后或检修动火前后对其系统进行吹扫置换，但是惰性气体吹扫接口在正常运行中不能与气体钢瓶或惰性气体管道相通，以避免影响气体质量。

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大宗特气供气系统介绍

大宗特气供气系统主要针对大规模量产的8-12英寸（1英寸=25.4毫米） 超大规模集成电路厂（气体种类包括SiH4、N2O、2、 C2F6、 NH3等），100MW以上的太阳能电池生产线（气体种类包括NH3），发光二极管的磊晶工序线（气体种类包括NH3）、5代以上液晶显示器工厂（气体种类包括4、3、NF3）、光纤（气体种类包括SiCl4）、硅材料外延生产线（气体种类包括HCL）等行业。它们的投资规模巨大，采用1先进的工艺制程设备，用气需求量大，对稳定和不间断供应、纯度控制和安全生产提出严格的要求。此种供应方式终会减少运输费用，减少退还给气体公司的空瓶中的余气量，以及良好的气瓶管理。

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试验室供气现状

目前我们可以用采用高压气瓶、液体杜瓦瓶、集中供气系统完成上述工作。同时，当地消防规范建议甚至要求将主要的气体源如气瓶、杜瓦瓶和液体储槽放置在工作区外的指1定区域，然后将气体通过管道系统输送至试验室内。

但是考虑安全和效率因素，不考虑经济性因素，集中供气系统是比较优1秀的方式。并成为当今试验室设备使用高纯气体的可靠连续的供应源，气体通过管道系统输送至试验室内，并可通过安装在工作台上的使用点二级减压器方便地调节压力和流量。

国内比较老的试验室在使用气体的时候大多是将气瓶放在用气点的旁边，然后在气瓶出口处安装一个减压器，然后直接通过紫铜管或四氟软管连接到仪器上，如果一个试验室里有多个使用设备时，就会有很多气瓶，同时有很多杂乱的管路，同时这些气体不乏有毒气体、强腐蚀气体，以及气瓶出口高压等因素，使得这种方式在现实使用过程中是充满危险性的。实验室气路安装要求1、所有气体管路都由高质量的、完全退火型、无缝连接的不锈钢管组成。

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